表面形状オブザーバに基づく原子間力顕微鏡のナノスケールサーボに関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC06132

グループ名: 【D】産業応用部門　産業計測制御研究会

発行日: 2006/09/08

タイトル(英語): Nano Scale Servo Contorl of Atomic Force Microscope Based on Surface Topography Observer

著者名: 青木 建吾(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学)

著者名(英語): Kengo Aoki(Yokohama National University),Hiroshi Fujimoto(Yokohama National University)

キーワード: ナノスケールサーボ|原子間力顕微鏡|操作型プローブ|オブザーバ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,079 Kバイト