表面形状学習型PTCに基づく原子間力顕微鏡のナノスケールサーボの提案

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC07037

グループ名: 【D】産業応用部門　産業計測制御研究会

発行日: 2007/03/06

タイトル(英語): Proposal of Nanoscale Servo System of Atomic Force Microscope Based on Surface Topography Learning with PTC

著者名: 大島 隆史(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学)

著者名(英語): Takashi Oshima(Yokohama National University),Hiroshi Fujimoto(Yokohama National University)

キーワード: 原子間力顕微鏡|完全追従制御|表面形状オブザーバ|学習制御|モデル化|Atomic Force Microscope|Perfect Tracking Control|Surface Topography Observer|learning control|modeling

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 546 Kバイト