コンタクトモードAFMにおける表面形状学習型オブザーバの提案

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC07117

グループ名: 【D】産業応用部門　産業計測制御研究会

発行日: 2007/09/14

タイトル(英語): Proposal of Surface Topography Learning Observer for Contact Mode AFM

著者名: 大島 隆史(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学)

著者名(英語): Takashi Oshima(Yokohama National University),Hiroshi Fujimoto(Yokohama National University)

キーワード: 原子間力顕微鏡|ディジタル外乱オブザーバ|表面形状学習型PTC|モデル化|Atomic Force Microscope|digital disturbance observer|Surface Topography Learning with PTC|modeling

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 722 Kバイト