タッピングモードAFMにおける表面形状オブザーバの提案

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC07119

グループ名: 【D】産業応用部門　産業計測制御研究会

発行日: 2007/09/14

タイトル(英語): Proposal of Surface Topography Observer for Tapping Mode AFM

著者名: 白石 貴行(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学)

著者名(英語): Takayuki Shiraishi(Yokohama National Univ.),Hiroshi Fujimoto(Yokohama National Univ.)

キーワード: 原子間力顕微鏡|ナノスケールサーボ|モデル化|タッピングモード　AFM|atomic force microsdope|nanoscale servo|modelling|tapping mode AFM

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 588 Kバイト