マルチレート制御に基づく大型超精密スキャンステージのオートフォーカス／レベリング制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC07124

グループ名: 【D】産業応用部門　産業計測制御研究会

発行日: 2007/09/14

タイトル(英語): Auto Focus and Leveling Control of Large-Scale High-Precisition Scan-Stage Based on Multirate Control

著者名: 坂田 晃一(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学),大友剛 (ニコン),佐伯 和明(ニコン)

著者名(英語): Koichi Sakata(Yokohama National University),Hiroshi Fujimoto(Yokohama National University),Takeshi Ohtomo(Nikon Corporation),Kazuaki Saiki(Nikon Corporation)

キーワード: スキャンステージ|マルチレート制御|完全追従制御|モーションコントロール|ナノスケールサーボ|scan-stage|multirate control|perfect tracking control|motion control|nano scale servo

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 483 Kバイト