ナノスケールサーボ制御系設計の基本的な考え方

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC07125

グループ名: 【D】産業応用部門　産業計測制御研究会

発行日: 2007/09/14

タイトル(英語): Basic Approach for Designing Nano-scale Servo Control

著者名: 山口 高司(日立グローバルストレージテクノロジーズ)

著者名(英語): Takashi Yamaguchi(Hitachi Global Storage Technologies)

キーワード: サーボ制御|メカトロニクス|モーションコントロール|位置決め制御|Servo control|mechatronics|motion control|positioning control

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 480 Kバイト