超精密ステージの機構と制御の同時最適化の基礎検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC07127

グループ名: 【D】産業応用部門　産業計測制御研究会

発行日: 2007/09/14

タイトル(英語): Basic Examination on Simultaneous Optimization of Mechanism and Control for High Precision Stage

著者名: 原 篤史(ニコン),佐伯 和明(ニコン),藤本 博志(横浜国立大学),坂田 晃一(横浜国立大学)

著者名(英語): Atsushi Hara(Nikon),Kazuaki Saiki(Nikon),Hiroshi Fujimoto(Yokohama National University),Koichi Sakata(Yokohama National University)

キーワード: 同時最適化|超精密ステージ|零点|2慣性系|完全追従制御|Simultaneous Optimization|High Precision Stage|Zero|Two-inertia systems|Perfect tracking control

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 561 Kバイト