簡易同定法に基づくコンタクトモードAFMの表面形状学習オブザーバ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC08107

グループ名: 【D】産業応用部門　産業計測制御研究会

発行日: 2008/03/11

タイトル(英語): Surface Topography Learning Observer for Contact Mode AFM Based on Simple Identification Scheme

著者名: 大島 隆史(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学)

著者名(英語): Takashi Oshima(Yokohama National University),Hiroshi Fujimoto(Yokohama National University)

キーワード: 原子間力顕微鏡|表面形状学習オブザーバ|零位相差追従制御|簡易同定|Atomic Force Microscope|Surface Topography Learning Observer|Zero Phase Error Tracking Control|simple identification

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,054 Kバイト