マルチレート制御とむだ時間補償に基づく精密実験ステージのマスタ・スレーブ同期位置制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC08161

グループ名: 【D】産業応用部門　産業計測制御研究会

発行日: 2008/09/12

タイトル(英語): Master-Slave Synchronous Position Control for Experimental Precision Stages Based on Multirate Control and Dead-time Compensation

著者名: 坂田 晃一(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学)

著者名(英語): Koichi Sakata(Yokohama National University),Hiroshi Fujimoto(Yokohama National University)

キーワード: 精密ステージ|同期制御|マルチレート制御|むだ時間補償|precision stage|synchronous control|multirate control|dead-time compensation

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 638 Kバイト