Xスキャナの非等速駆動による高速AFMの表面形状学習サンプル点間オブザーバ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC08167

グループ名: 【D】産業応用部門　産業計測制御研究会

発行日: 2008/09/12

タイトル(英語): Surface Topography Learning Inter-sample Observer for High-speed AFM using Different Scan Speed of X Scanner

著者名: 白石 貴行(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学)

著者名(英語): Takayuki Shiraishi(Yokohama National University),Hiroshi Fujimoto(Yokohama National University)

キーワード: 原子間力顕微鏡|学習制御|サンプル点間オブザーバ|非等速Xスキャン|atomic force microscope|learning control|inter-sample onserver|different scan speed

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 616 Kバイト