終端状態制御によるガルバノスキャナのナノスケールサーボ制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC08168

グループ名: 【D】産業応用部門　産業計測制御研究会

発行日: 2008/09/12

タイトル(英語): Nanoscale Servo Control for Galvano Scanner Using Final-State Control

著者名: 城所 隆弘(宇都宮大学),平田 光男(宇都宮大学),上田 伸治(キヤノン)

著者名(英語): Takahiro Kidokoro(Utsunomiya University),Mitsuo Hirata(Utsunomiya University),Shinji Ueda(Canon)

キーワード: 終端状態制御|ナノスケールサーボ制御|ガルバノスキャナ|Final-State Control|Nanoscale Servo Control|Galvano Scanner

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 655 Kバイト