非線形摩擦補償と制振PTCに基づくボールねじ駆動ステージの位置決め制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC09040

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2009/03/10

タイトル(英語): Positioning Control of Ball Screw Driven Stage Based on Nonlinear Friction Compensation and Vibration Suppression PTC

著者名: 浅海 博圭(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学)

著者名(英語): Asaumi Hiroyoshi(Yokohama National University),Fujimoto Hiroshi(Yokohama National University)

キーワード: ボールねじ駆動ステージ|非線形摩擦補償|転がり摩擦モデル|多段可変自然長ばねモデル|完全追従制御法|ball screw driven stage|nonlinear friction compensation|rolling friction model|multi variable natural length spring model|perfect tracking control

要約(英語): Ball screw driven stages are used for industrial equipments such as machine tools and semiconductor equipments. In this paper, ball screw driven stage is modeled by 2-inertia system, dead time components, and nonlinear friction components. Moreover, posit

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,114 Kバイト