精密ステージの構造に基づくナノスケールサーボ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC09100

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2009/03/11

タイトル(英語): Nanoscale Servo Based on Mechanism for Precision Stage

著者名: 坂田 晃一(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学)

著者名(英語): Sakata Koichi(Yokohama National University),Fujimoto Hiroshi(Yokohama National University)

キーワード: 精密ステージ|位置決め|マルチレート制御|ＰＷＭホールド|制振制御|precision stage|positioning|multirate control|PWM hold|vibration suppression control

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,332 Kバイト