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ひずみ量フィードバックを併用したテーブル駆動システムの高精度位置決め制御

ひずみ量フィードバックを併用したテーブル駆動システムの高精度位置決め制御

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カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC09102

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2009/03/11

タイトル(英語): High-precision Positioning Control of Table Drive Systems Using Strain Feedback

著者名: 望月 慶佑(名古屋工業大学),関 健太(名古屋工業大学),川福 基裕(名古屋工業大学),岩崎 誠(名古屋工業大学),平井 洋武(名古屋工業大学)

著者名(英語): Mochizuki Keisuke(Nagoya Institute of Technology),Seki Kenta(Nagoya Institute of Technology),Kawafuku Motohiro(Nagoya Institute of Technology),Iwasaki Makoto(Nagoya Institute of Technology),Hirai Hiromu(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 高精度位置決め|振動制御|圧電素子|外乱オブザーバ|high-precision positioning|vibration control|piezoelectric element|disturbance observer

要約(英語): In order to improve the control performance for mechatronics systems, the positioning system should be suppressed mechanical vibration modes and the effects of nonlinear friction.In this paper, the control bandwidth of disturbance observer can be expand

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 785 Kバイト

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