振幅変調型原子間力顕微鏡における非飽和型表面形状オブザーバの提案

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC09109

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2009/03/11

タイトル(英語): Proposal of Anti-saturation Surface Topography Observer for AM-AFM

著者名: 白石 貴行(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学)

著者名(英語): Shiraishi Takayuki(Yokohama National University),Hiroshi Fujimoto(Yokohama National University)

キーワード: 振幅変調型原子間力顕微鏡|飽和|オブザーバ|ナノスケールサーボ|AM-AFM|saturation|observer|nanoscale servo

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,617 Kバイト