Zスキャナの特性を考慮した表面形状オブザーバの提案

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC09164

グループ名: 【D】産業応用部門　産業計測制御研究会

発行日: 2009/09/09

タイトル(英語): Proposal of Surface Topography Observer with consideration for Characteristic of Z-scanner

著者名: 白石 貴行(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学)

著者名(英語): Takayuki Shiraishi(Yokohama National University),Hiroshi Fujimoto(Yokohama National University)

キーワード: 原子間力顕微鏡|コンタクトモード|表面形状オブザーバ|Zスキャナ|atomic force microscope|contact-mode|surface topography observer|Z-scanner

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 976 Kバイト