XYステージの振動抑制制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC10037

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2010/03/08

タイトル(英語): Vibration suppression control of a XY stage

著者名: 坂田 祐寿(宇都宮大学),平田 光男(宇都宮大学),井出 勇治(山洋電気)

著者名(英語): Sakata Yuto(Utsunomiya University),Hirata Mitsuo(Utsunomiya University),Ide Yuji(SANYO DENKI CO.,LTD.)

キーワード: ＸＹステージ|振動抑制制御|機台振動

要約(日本語): 工作機械などで用いられるXYステージでは，高速かつ高精度なサーボ制御が要求される。しかしながら，高速に動作させようとすると，機台振動を誘発し，位置決め精度が劣化してしまう。そこで本研究では，制御対象の共振特性を考慮したフィルターをフィードバックループに導入し，機台振動を抑圧する手法を提案する。そして，その有効性をシミュレーション及び実験で検証する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 650 Kバイト