2質点4自由度モデルを用いたガントリ型超精密位置決めステージの機構と制御における同時最適化の基礎検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC10088

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2010/03/09

タイトル(英語): Basic Examination of Simultaneous Optimization in Mechanism and Control for Gantry-Type Precision Stage as Two-Mass and Four-Degree-of-Freedom Model.

著者名: 関 優志(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学),原 篤史((株)ニコン 精機カンパニー),山中 貴裕((株)ニコン 精機カンパニー),佐伯 和明((株)ニコン 精機カンパニー)

著者名(英語): Seki Yushi(Yokohama National University),Fujimoto Hiroshi(Yokohama National University),Hara Atsushi(Nikon),Yamanaka Takahiro(Nikon),Saiki Kazuaki(Nikon)

キーワード: 超精密位置決めステージ|同時最適化|モード分解|最適設計|２慣性系|Precision stage|Simultaneous optimization|Mode decomposition|Optimal design|Two-mass system

要約(日本語): ガントリ型超精密位置決めステージでは全体の重心と駆動点を一致するように設計されているが，実際，両者にはズレが生じている。また，剛性の低下によって回転方向による共振特性が制御性能の向上に悪影響を与えている。本稿では，2質点4自由度モデルの伝達関数からモード分解を行い，モード影響定数により共振に影響を与えることを示した。また，従来の設計概念に対し，パラメータの設計変更による同時最適化の有効性を示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,341 Kバイト