セルフセンシングアクチュエーションによるガルバノミラーの制振制御の基礎検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC10109

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2010/03/09

タイトル(英語): A Fundamental Study on Vibration Suppression of Galvanometric Mirror Using Self-Sensing Actuation

著者名: 神波 弘樹(名古屋工業大学),関 健太(名古屋工業大学),岩崎 誠(名古屋工業大学),平井 洋武(名古屋工業大学)

著者名(英語): Kannami Hiroki(Nagoya Institute of Technology),Seki Kenta(Nagoya Institute of Technology),Iwasaki Makoto(Nagoya Institute of Technology),Hirai Hiromu(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 振動制御|圧電素子|セルフセンシングアクチュエーション|ガルバノミラー|vibration suppression|piezoelectric element|self-sensing actuation|galvanometric mirror

要約(日本語): レーザ位置決め装置では，ミラーの位置決め精度と同時にレーザ反射時におけるミラーの平坦度が重要となる。しかし，位置決め動作時に作用する力のモーメントによってミラーの固有振動数が励起されると，変形振動が発生してレーザ位置決め精度が劣化する。本研究では，ミラーに圧電素子を取り付け，センサとアクチュエータの機能を同時に利用するセルフセンシングアクチュエーションにより振動を抑制する手法を提案する。

要約(英語): In the laser positioning system, vibration modes of a mirror generated by the force of moment during positioning, resulting in the lower positioning performance of the laser.In order to suppress the vibration, this paper presents an approach of applying self-sensing actuation using piezoelectric element.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 996 Kバイト