PTCに基づく繰返し学習制御を用いたピエゾスキャナの位置決め制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC10110

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2010/03/09

タイトル(英語): Positioning Control for Piezo-scanner Using Iterative Learning Control Based on PTC

著者名: 白石 貴行(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学)

著者名(英語): Shiraishi Takayuki(Yokohama National University),Fujimoto Hirishi(Yokohama National University)

キーワード: 原子間力顕微鏡|ピエゾスキャナ|繰返し学習制御|Atomic force microscope|Piezo-scanner|Iterative Learning Control

要約(日本語): 近年，多くの精密位置決め装置に，繰返し学習制御（ILC）を適用して位置決め精度の向上させている。このILCでは，学習フィルタとして制御対象の逆モデルを用いることが多い。本研究では，PTCで導出される安定な逆モデルを学習フィルタに用いたILCを原子間力顕微鏡のピエゾスキャナの位置決め制御に用いる。提案手法の有効性をシミュレーション，および実験結果により示すものである。

要約(英語): In Iterative Learning Control (ILC), the inverse system of the plant is often used as the learning filter. This designof the learning filter using the inverse system is most important part in ILC system design. Thus, there are manymethods of the inverse system design. In this paper, the ILC using the perfect inverse system of the plant whichbased on the perfect tracking control is proposed. Its proposed inverse system of the plant is the perfect inversesystem of the plant, and the all poles of the proposed inverse system of the plant can be located on the origin indiscrete-time domain. Thus, the proposed inverse plant has good characteristics for ILC system. In this paper, theeffectiveness of the proposed method is shown by the some simulation and experimental results.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 976 Kバイト