微小変位領域における外乱モデルの構築と外乱フィードフォワード補償による高速・高精度位置決め

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC10162

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2010/08/31

タイトル(英語): Fast and Precise Positioning with Feedforward Disturbance Compensation in Micro-Scopic Region

著者名: 前橋 亘(名古屋工業大学),伊藤 和晃(豊田工業高等専門学校),岩崎 誠(名古屋工業大学)

著者名(英語): Maebashi Wataru(Nagoya Institute of Technology),Ito Kazuaki(Toyota National College of Technology),Iwasaki Makoto(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 高速・高精度位置決め|非線形摩擦|インチング動作|往復動作|fast and precise positioning|nonlinear friction|inching motion|reciprocating motion

要約(日本語): 各種テーブル装置では，機構系に内在する非線形摩擦を始めとした各種非線形要素が位置決め制御性能の向上を阻害する要因となる。特に，微小変位領域における非線形摩擦は，直前の動作方向によってその挙動が異なり，位置決め精度にばらつきを与える。本論文では，微小変位領域における外乱挙動を再現しうる外乱モデルを構築し，外乱モデルに基づくフィードフォワード補償による位置決め制御性能の向上を図る。

要約(英語): This paper presents a feedforward compensation approach for disturbance in the micro-scopic displacement region for the fast and precise poisoning of table drive systems. In this paper, the disturbance is mathematically modeled, and applied to the disturbance model-based feedforward compensation. The effectiveness of the proposed compensation has been verified by experiments using an actual linear motor driven table system.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 957 Kバイト