ダンパを有するPZT位置決め機構の高精度制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC10167

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2010/08/31

タイトル(英語): Highly precise control of PZT positioning mechanism with a damper

著者名: 櫻田 陽(秋田県産業技術総合研究センター),長縄 明大(秋田大学),砂子田 勝昭(秋田大学),渋谷 嗣(秋田大学),森 英季(秋田県産業技術総合研究センター)

著者名(英語): Sakurada Akira(Akita Research and Development Center),Naganawa Akihiro(Akita University),Sunakoda Katsuaki(Akita University),Shibuya Yotsugi(Akita University),Mori Shigeki(Akita Research and Development Center)

キーワード: アクチュエータ|高精度位置決め|圧電素子|ダンパー|モデル化|Actuator|Precise Positioning|Piezo Electric Element|Damper|Modeling

要約(日本語): 著者らは，PZTと変位拡大機構を組み合わせた精密位置決めに関する研究を行っているが，弾性変形を利用しているため共振ピークが非常に高い．これを低減するためダンパを導入したが，共振周波数より低周波数域において，ゲイン特性の低減が見られる．本研究では，この現象を解明して位置決めに与える影響を明らかにするため，高次モデルでモデル化を行い，位置決め性能を改善するための制御系設計を行った結果を報告する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,041 Kバイト