ガルバノスキャナにおける機構と制御の同時最適化に関する基礎検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC11052

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2011/03/08

タイトル(英語): Basic Examination of Simultaneous Optimization in Mechanism and Control for Galvanometer Scanner System

著者名: 関 優志(横浜国立大学大学院),藤本 博志(東京大学),有松 孟((株)安川電機)

著者名(英語): Yushi Seki(Yokohama National University),Hiroshi Fujimoto(The University of Tokyo),Takeshi Arimatsu(Yaskawa Electric Corporation)

キーワード: ガルバノスキャナ|同時最適化|２慣性系|外乱補償|軸ねじれ系|Galvanometer Scanner|Simultaneous Optimization|2-Inertia System|Disturbance Compensation|Torsional Vibration System

要約(日本語): ガルバノ（メータ）スキャナとは，レーザ走査デバイスの中でも高精度高速でありコストパフォーマンスと操作性から広く普及しているデバイスである。モータによりミラーを高速高精度で駆動させ，レーザ光を反射させることでレーザ加工を行う。ガルバノスキャナの実測値から2慣性系の回転駆動機構としてモデルの提案を行い，機構のパラメータ変化を用いた機構と制御の同時最適化によって外乱抑圧性能向上の検討を行った。

要約(英語): In industry, galvanometer scanner is a popular laser scanning device for the cost performance and operation performance. The mirror of a galvanometer scanner can be driven by motors so that the laser-cut parts can be made by the reflected laser. The plant model is veri_x000C_ed from measured value of the galvanometer scanner. The optimized design of particular parameter variations of the galvanometer scanner is proposed. Simulations and experiments with an experimental galvanometer scanner are performed to show the advantages of the proposed optimized design.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,466 Kバイト