超精密ガントリステージにおける複数センサを用いた共振モードにロバストなフィードバック制御器設計

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC11065

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2011/03/08

タイトル(英語): Design of Feedback Control for Robustness of Resonance Mode using Multiple Sensors for High-Precision Gantry Stage

著者名: 坂田 晃一(東京大学),藤本 博志(東京大学),佐伯 和明(ニコン)

著者名(英語): Sakata Koichi(The University of Tokyo),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo),Saiki Kazuaki(Nikon Corporation)

キーワード: 超精密ガントリステージ|複数センサ|フィードバック制御|高帯域化|精密位置決め|High-precision gantry stage|Multiple sensors|Feedback control|High bandwidth design|Precise positioning

要約(日本語): 精密位置決めステージは半導体や液晶パネル製造，微細加工に欠かせない産業機器である。しかしながら，ステージの大型化により，共振モードは避けられず，高速高精度位置決めの大きな障害となっている。また，大型ガントリステージでは，機構の複雑さから追加的に構造変更することは困難である場合が多い。本論文では，センサを追加するだけでフィードバック系の大幅な高帯域化ができることを，超精密ステージを用いて実証する。

要約(英語): The high-precision stage is industrial equipment for micro-fabrications and productions of semiconductors and LCD panels. However, the resonance mode is a big trouble of fast and precise positioning, and then it is difficult to change the structure incrementally because of the complexity of the stage. In this paper, it is verified that high bandwidth design of the feedback control system is possible only by adding another sensor.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,240 Kバイト