ボールねじ駆動ステージにおける線形パラメータと非線形転がり摩擦の同時同定

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC11097

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2011/03/09

タイトル(英語): Simultaneous Estimation Method of Linear Parameters and Nonlinear Friction Characteristic for Ball Screw-Driven Stage

著者名: 竹村 征(横浜国立大学),藤本 博志(東京大学),山本 浩司(株式会社　森精機製作所)

著者名(英語): Takemura Tadashi(Yokohama National University),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo),Yamamoto Kouji(MORI SEIKI CO. ,LTD.)

キーワード: ボールねじ駆動ステージ|パラメータ同定|転がり摩擦|データベース摩擦モデル|ball screw-driven stage|parameter estimation|rolling friction|data-based friction model

要約(日本語): ボールねじ駆動ステージはその構造上，非線形摩擦特性を有する。このため，線形パラメータを同定する際，非線形摩擦の影響を受けない条件で同定し，一方非線形摩擦特性は線形パラメータが影響しないよう極低速駆動で取得する必要がある。そこで本稿では，線形パラメータの同定すると同時に非線形転がり摩擦特性を取得する手法を提案する。実験により提案手法で得られた結果が制御系設計に有効であることを示す。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,109 Kバイト