適応ノッチフィルタの開発および超精密位置決め装置への適用例

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC11104

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2011/03/09

タイトル(英語): Development of adaptive notch filters and its application for ultra precision positioning machines

著者名: 小木曽 太郎(住友重機械工業),塚原 真一郎(住友重機械工業)

著者名(英語): Ogiso Taro(Sumitomo Heavy Industries),Tsukahara Shinichiro(Sumitomo Heavy Industries)

キーワード: 適応ノッチフィルタ|精密位置決め|サーボ調整|adaptive notch filter|precise positioning|servo adjustment

要約(日本語): 中心周波数およびノッチ幅をプラントからの観測量にもとづいて適切に調整する適応ノッチフィルタを開発し、超精密XYステージに適用した。開発した適応ノッチフィルタはXYステージの複数の共振モードを自動的に安定化した。適応ノッチフィルタを用いた簡易なサーボ調整によるXYステージの位置決め整定性は、従来のサーボ調整を行った場合と同等であった。

要約(英語): Notch filter needs accurate tuning. If the tuning parameters are different from optimal values, notch filters not only perform incompletely but make the control system unstable. Especially in the ultra precision positioning system, it comes to more difficult to tune notch filters considering the phase interference. We developed an auto tuning method for notch filters and applied it to an ultra precision positioning machine. The method can tune up to three notch filters, which can stabilize the control system in high gain feedback state experimentally.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 961 Kバイト