リニアモータ駆動テーブル装置における機台加速度信号を用いたロバスト制振制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC11111

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2011/03/09

タイトル(英語): Robust Vibration Control Using Machine Stand Acceleration Signal in Linear-Motor-Driven Table Systems

著者名: 土本 祐也(名古屋工業大学),関 健太(名古屋工業大学),岩崎 誠(名古屋工業大学)

著者名(英語): Tsuchimoto Yuya(Nagoya Institute of Technology),Seki Kenta(Nagoya Institute of Technology),Iwasaki Makoto(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 高速・高精度位置決め|振動抑制|リニアモータ|機台振動|加速度フィードバック|周波数同定|fast and precise positioning|vibration suppression|linear motor|machine stand vibration|acceleration feedback|frequency identification

要約(日本語): 各種産業機器に用いられるテーブル駆動系では，テーブルの高加減速駆動に伴い，装置全体の架台である機台が振動し，位置決め性能が劣化する。本論文では，加速度センサによって検出した機台加速度信号を用いた制振手法を提案する。具体的には，センサフィードバックによる機台・テーブル相対位置のロバスト位置決め性能確保と，共振周波数同定機能を具備した制振フィードフォワード補償による機台振動抑制を実現する。

要約(英語): This paper presents a vibration suppression approach based on acceleration signal of machine stand in linear-motor-driven table systems.In the proposed approach,robust table positioning can be realized by feedback compensation using acceleration signal,while vibration suppression of machine stand can be achieved by feedforward compensation with frequency identification.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 652 Kバイト