穴間移動動作から軌跡追従動作へ連続的に遷移するガルバノミラー式位置決めサーボ機構の目標軌道設計手法

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC11165

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2011/09/05

タイトル(英語): Reference Trajectory Design which changes PTP motion into CP motion in continuity of the Laser-positioning Servomechanism of Galvanometric Mirror

著者名: 松家 大介(日立製作所),大槻 治明(日立製作所),佐野 哲也(日立ビアメカニクス)

著者名(英語): Matsuka Daisuke(Hitachi,Ltd.),Otsuki Haruaki(Hitachi,Ltd.),Sano Tetsuya(Hitachi Via Mechanics,Ltd.)

キーワード: 高速高精度位置決め|ガルバノミラー|トレパニング加工法|high speed and high precision control|galvanometric mirror|trepanning

要約(日本語): レーザ加工機において，レーザパルスを同心円状に複数回照射するトレパニング加工法がある。本研究ではトレパニング加工高速化を目標として，穴間移動動作から軌跡追従動作へ連続的に遷移するガルバノミラー式位置決めサーボ系について議論する。本報では特に，目標軌道の設計手法に着目して新たな軌道生成法を提案し，その効果を実験により検証した結果を報告する。

要約(英語): This paper proposes an efficient control method for galvanometer scanners that move a laser beam to drill a sequence of holes larger than the beam size. The method is applicable to a microprocessor-based controller and reduces required drilling time. Experimental results show the proposed method is effective.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 961 Kバイト