ミラーの応答を考慮したガルバノスキャナの位置決め制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC11166

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2011/09/05

タイトル(英語): Positioning Control of Galvano Scanner by Considering Mirror Response

著者名: 上田 伸治(キヤノン),平田 光男(宇都宮大学)

著者名(英語): Ueda Shinji(CANON INC.),Hirata Mitsuo(Utsunomiya University)

要約(日本語): レーザ穴あけ加工機においてガルバノスキャナの高速高精度な位置決めが求められている。この課題に対しフィードフォワード入力の設計手法として終端状態制御を適用し効果を上げている。しかしながら従来手法は位置センサーの応答を考慮した設計法であり，本来制御すべき対象であるガルバノミラーの応答を考慮した設計は行われていなかった。そこで本論文ではミラー応答を考慮した軌道設計問題を提案し，その有効性を確認する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 691 Kバイト