ミラー特性を考慮したガルバノスキャナの高速高精度軌跡制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC11167

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2011/09/05

タイトル(英語): High Speed and High Precision Trajectory Control of Galvano Scanner by Considering Mirror Characteristics

著者名: 黒木 幸恵(宇都宮大学),上田 伸治(キヤノン),平田 光男(宇都宮大学)

著者名(英語): Kuroki Yukie(Utsunomiya University),Ueda Shinji(Canon Inc.),Hirata Mitsuo(Utsunomiya University)

要約(日本語): ガルバノスキャナのミラーモデルに対して零位相差追従制御を用いた逆モデルを設計し，これをモデルマッチング２自由度制御に適用することで、高速かつ高精度な軌跡制御を達成する手法を提案する。モータ特性だけを考慮した従来法に比べ，ミラー特性を考慮することで高速化，高精度化が可能となる。そして，その有効性をガルバノスキャナモデルに対するシミュレーションで検証する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 717 Kバイト