精密位置決めステージにおける高次ピッチングモードを考慮した位置決め制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC11170

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2011/09/05

タイトル(英語): Precise Positioning Control of High-order Pitching Mode for High-Precision Stage

著者名: 関 優志(東京大学),藤本 博志(東京大学),西野 秀昭(ニコン),佐伯 和明(ニコン)

著者名(英語): Seki Yushi(The University of Tokyo),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo),Nishino Hideaki(Nikon Corporation),Saiki Kazuaki(Nikon Corporation)

キーワード: 精密位置決め|多入力多出力系|フィードバック制御|ピッチング|位置決め誤差|High-precision|MIMO|Feedback Control|Pitching|Tracking Error

要約(日本語): 精密位置決めステージは半導体製造等に不可欠な産業機械である。近年，生産効率向上のための高速高精度な位置決めと装置の大型化が要求されているが，大型化によって剛性が低下しテーブル部のピッチングが制御の問題点となっている。従来のテーブル部レベリング制御にはキャリッジ‐テーブル間の回転角を用いたFB制御を行うが，提案法ではステージ全体の回転角によるFB制御を行い，位置決め精度向上の有効性について検証を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,518 Kバイト