自己共振相殺制御を用いた3慣性系の制振制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC11171

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2011/09/05

タイトル(英語): Vibration Suppression Position Control of Three-inertia Systems Using Self Resonance Cancellation Control

著者名: 白石 貴行(東京大学),藤本 博志(東京大学)

著者名(英語): Shiraishi Takayuki(The University of Tokyo),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo)

キーワード: ボールねじ駆動ステージ|制振制御|自己共振相殺制御|ballscrew-drive|vibration suppression control| self resonance cancellation control

要約(日本語): 近年，工作機械や露光装置などの高精度位置決め機器において，モータ位置に加えてステージ位置も検出可能な機器が増加してきている。本研究では，ボールねじ駆動ステージの精密位置決め制御に，複数センサを用いて高帯域化を図る自己共振相殺制御を適用し，位置決め精度の向上を図るものである。

原稿種別: 日本語

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