微動領域の特性を考慮した可変フィードバック制御系によるボールねじ駆動テーブル装置の高速・高精度位置決め

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC12005

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2012/03/06

タイトル(英語): Fast and Precise Positioning of Ball Screw-Driven Table System Using Variable Feedback Controller Considering System Characteristics in Microscopic Displacement Region

著者名: 甲木 裕一(名古屋工業大学),伊藤 和晃(豊田工業高等専門学校),前橋 亘(名古屋工業大学),岩崎 誠(名古屋工業大学)

著者名(英語): Katsuki Yuichi(Nagoya Institute of Technology),Ito Kazuaki(Toyota National College of Technology),Maebashi Wataru(Nagoya Institute of Technology),Iwasaki Makoto(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 可変フィードバック制御|微動領域|非線形摩擦|ボールねじ駆動|テーブル装置|variable feedback controller|microscopic displacement region|nonlinear friction|ball screw-driven|table system

要約(日本語): 制御帯域の拡大は外乱抑圧性能の向上につながり，機器の個体差や環境変化に対するロバスト性能を確保する上で不可欠である。帯域拡大と安定性にはトレード・オフの関係があり，安定範囲で限界性能を追求すべく制御系開発がなされている。本研究では，非線形摩擦により，微動領域ではシステムの特性が異なることに着目し，目標位置近傍でフィードバック補償器を高ゲイン化することで，更なる高速・高精度位置決めの実現を目指す。

要約(英語): Expansion of a control bandwidth is one of inherent techniques to achieve the robust control performance. High gain controller should be promising under the consideration of system stability. In this paper, a variable feedback controller is applied to the fast and precise positioning of ball screw-driven table systems, where the feedback gains are switched at the settling as in a microscopic displacement region. The effectiveness of the proposed approach has been verified the experiments using a prototype of a ball screw- driven table system.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,688 Kバイト