粗微動間の連結分離機構を有するステージの高速高精度制御系の提案

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC12013

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2012/03/06

タイトル(英語): Proposal of High-speed High-precision Control System for Stage with Decouplable Structure of Coarse and Fine Part

著者名: 徳山 享大(東京大学),藤本 博志(東京大学),弓座 大輔(ニコン),佐伯 和明(ニコン)

著者名(英語): Tokuyama Kyota(The University of Tokyo),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo),Yumiza Daisuke(Nikon Corporation),Saiki Kazuaki(Nikon Corporation)

キーワード: 精密位置決め|衝突力|高速高精度位置決め|２段アクチュエータ|Precise positioning|Impact force|Fast and precise positioning|Dual-stage

要約(日本語): 著者らは，従来の露光装置等の大型精密ステージを，粗動部と微動部に分離したカタパルトステージを作成した。粗動部は高加減速させる際，微動部はスキャン動作時に用いる。これによりステージやコントローラの設計の自由度が増し，位置決めの高速高精度化が可能となると考えられる。動作時，粗動部と微動部との接続部で衝突力が生じ，追従性能や装置の劣化を招きうる為，衝突力を緩和させる制御を行う必要がある。本稿では，このカタパルトステージの制御を行った。

要約(英語): In the large industrial machine, upsizing, higher accuracy and improvement of throughput are required. Authors produced the stage with decouplable structure of coarse and fine part.In this paper, we discuss the model of decouplable structure and the control system for the stage.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,372 Kバイト