ミラーのイナーシャに応じたガルバノスキャナの高帯域フィードバック制御の基礎検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC12020

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2012/03/06

タイトル(英語): Basic Consideration on High-bandwidth Feedback Control of Galvano Scanner for inatia of mirror

著者名: 浅野 弘一郎(東京大学),白石 貴行(東京大学),藤本 博志(東京大学),堀 洋一(東京大学)

著者名(英語): Asano Koichiro(The University of Tokyo),Shiraishi Takayuki(The University of Tokyo),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo),Hori Yoichi(The University of Tokyo)

要約(日本語): ガルバノスキャナは，エンコーダ・モータ・ミラーの3慣性系でモデル化でき，使用するミラーのイナーシャによりプラントの周波数特性は変化する。高帯域化のためには，ミラーのイナーシャに応じて，適切なフィードバック制御器を設計する必要がある。従来のエンコーダに加えて，ミラー角度を計測するセンサを考慮した場合に，与えられたミラーに適した，フィードバックループの構成について検討を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 800 Kバイト