粗微動間の連結分離機構を有するステージの衝突力緩和制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC12176

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2012/09/04

タイトル(英語): Reducing Impact Force Control for Stage with Decouplable Structure of Coarse and Fine Part

著者名: 徳山 享大(東京大学),藤本 博志(東京大学),弓座 大輔(ニコン),佐伯 和明(ニコン)

著者名(英語): Tokuyama Kyota(The University of Tokyo),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo),Yumiza Daisuke(Nikon Corporation),Saiki Kazuaki(Nikon Corporation)

キーワード: 精密位置決め|衝突力|高速高精度位置決め|２段アクチュエータ|Precise positioning|Impact force|Fast and precise positioning|Dual-stage

要約(日本語): 著者らは，従来の産業機器に用いられる大型精密ステージを粗動部と微動部に分離した，粗微動間の連結分離機構を有するステージを製作した。粗動部は高加減速させる際，微動部はスキャン動作時に用いる。これによりステージやコントローラの設計の自由度が増し，位置決めの高速高精度化が可能となると考えられる。動作時，粗動部と微動部との連結部で衝突力が生じ，追従性能や装置の劣化を招きうる為，衝突力を緩和させる制御を行う必要がある。本稿では，この衝突力を仮想的にバネとダンパを挿入することにより緩和した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,693 Kバイト