パラメータ同定機能を備えたセルフセンシングアクチュエーションによるガルバノミラーのロバスト制振制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC13018

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2013/03/07

タイトル(英語): Robust Vibration Suppression of Galvano Mirrors by Self-Sensing Actuation Using Parameter Identification

著者名: 横井 宏季(名古屋工業大学),関 健太(名古屋工業大学),岩崎 誠(名古屋工業大学)

著者名(英語): Yokoi Hiroki(Nagoya Institute of Technology),Seki Kenta(Nagoya Institute of Technology),iwasaki makoto(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 制振制御|圧電素子|セルフセンシングアクチュエーション|フィードフォワード補償器|パラメータ同定|vibration suppression|piezoelectric element|self-sensing actuation|feedforward compensator|parameter identification

要約(日本語): ガルバノスキャナでは、ミラーの位置決め時に発生するモーメントによって曲げ振動が発生し、レーザ光位置決め精度が劣化する。圧電素子を用いたセルフセンシングアクチュエーションによるミラーの制振制御は一つの有効な手法であるが、ブリッジ回路パラメータに変動が発生した場合、制振性能が劣化する。本研究では、パラメータ同定機能を具備することで、パラメータ変動に対するロバスト制振制御を実現する。

要約(英語): This paper presents a robust vibration suppression approach of galvano mirror by self-sensing actuation using piezoelectric elements. Vibration suppression performance is deteriorated by parameter variations in the bridge circuit. In the proposed approach, a parameter identification algorithm is applied to identify the parameters for the self-sensing actuation system.

原稿種別: 日本語

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