H∞制御による共振周波数変動を考慮した２段アクチュエータ制御系の設計

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC13090

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2013/03/08

タイトル(英語): Controller Design by H Infinity Control Framework Considering Resonant Frequency Variation for Dual-Stage Actuator

著者名: 篠原 悠作(名古屋工業大学),関 健太(名古屋工業大学),岩崎 誠(名古屋工業大学)

著者名(英語): Shinohara Yusaku(Nagoya Institute of Technology),Seki Kenta(Nagoya Institute of Technology),Iwasaki Makoto(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 荷重制御系|２段アクチュエータ|Ｈ∞制御|周波数変動|干渉力|force control system|dual-stage actuator|H∞ control|frequency variation|interference force

要約(日本語): 被加工物を研磨する加工装置では，目標荷重に高精度に追従することが求められる。そこでは，空気圧アクチュエータとボイスコイルモータを併用することで，サーボ帯域の拡大が実現される。しかし，アクチュエータ間の動作干渉により，サーボ特性の劣化が生じることも多い。本研究では，H∞制御を適用することで，干渉抑制を考慮した制御系をシステマティックに設計する。提案法の有効性は，実験により検証される。

要約(英語): This paper presents a controller design approach to achieve the expansion of servo bandwidth for force control systems using dual-stage actuators. In this research, the controller is systematically designed by an H∞ control framework to suppress the interference between actuators. The proposed approach has been verified by experiments.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,016 Kバイト