前列表面形状を用いた原子間力顕微鏡による試料弾性推定法

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC13100

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2013/03/08

タイトル(英語): Estimation of Sample Elasticity Utilizing Previous Line Surface Topography by AFM

著者名: 渡辺 早紀矢(東京大学),藤本 博志(東京大学)

著者名(英語): Watanabe Sakiya(The University of Tokyo),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo)

要約(日本語): 原子間力顕微鏡（AFM）は原子レベルの分解能を持つ顕微鏡である。AFMはカンチレバと呼ばれるてこでなぞることで，試料の表面形状を得る。そこで，この特徴を用いてソフトマテリアルの粘弾性特性を測定する研究が行われている。しかし，AFMの高速化に比べて粘弾性測定に関する技術は遅れていると言われている。本稿では，前列の表面形状を用いて逐次最小二乗法により試料弾性特性を測定する手法を提案する。

原稿種別: 日本語

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