超精密ステージにおけるオイラーの運動方程式の非線形性と軸間干渉を補償した姿勢制御の一提案

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC13101

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2013/03/08

タイトル(英語): Proposal of Attitude Control for High-Precision Stage by Compensating Nonlinearity and Coupling of Euler's Equation

著者名: 大西 亘(東京大学),藤本 博志(東京大学),堀 洋一(東京大学),坂田 晃一(ニコン),鈴木 一弘(ニコン),佐伯 和明(ニコン)

著者名(英語): Ohnishi Wataru(The University of Tokyo),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo),Hori Yoichi(The University of Tokyo),Sakata Koichi(Nikon),Suzuki Kazuhiro(Nikon),Saiki Kazuaki(Nikon)

キーワード: 姿勢制御|高速高精度位置決め|非線形性|非干渉化|運動学|動力学|Attitude Control|Fast and precise positioning|Nonlinearity|Decoupling|Kinematics|Dynamics

要約(日本語): 位置と姿勢，6自由度の高速高精度位置決めステージの姿勢制御を扱う。エアガイドによって浮上し，リニアモータによって駆動する。回転運動には動力学および運動学の非線形性と軸間干渉があり，位置決め精度に影響を及ぼす。本研究では，その非線形性と軸間干渉を補償したフィードフォワード制御を提案する。

要約(英語): High-precision stage is the essential equipment for fabrication of integrated circuits, liquid crystal displays and so on. Since higher integration density and product quality are continuously required for the development of industry and informatics, not only the stage position but also the stage attitude needs to be controlled fast and precisely. The attitude is determined by roll, pitch and yaw motions which are affected by coupling and nonlinearity due to the stage dynamics and kinematics. This effect decreases the control performance of the attitude. In this paper, we propose a MIMO nonlinear feedforward attitude controller which compensates such effect. The effectiveness of the proposed approach is verified by simulations and experiments.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,575 Kバイト