粗微動間の連結分離機構を有するステージの衝突力モデルを用いた衝突力緩和制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC13109

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2013/03/08

タイトル(英語): Reducing Impact Force Control for Stage with Decouplable Structure of Coarse and Fine Part by Impact Model

著者名: 徳山 享大(東京大学),藤本 博志(東京大学),弓座 大輔(ニコン),佐伯 和明(ニコン)

著者名(英語): Tokuyama Kyota(The University of Tokyo),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo),Yumiza Daisuke(Nikon Corporation),Saiki Kazuaki(Nikon Corporation)

キーワード: 精密位置決め|衝突力|高速高精度位置決め|２段アクチュエータ|Precise positioning|Impact force|Fast and precise positioning|Dual-Stage

要約(日本語): 株式会社ニコンとの共同研究として本研究室で，従来のスキャンステージを，粗動部と微動部に分離したカタパルトステージを作成した。粗動部は高加減速させる際，微動部はスキャン動作時に用いる。これによりステージやコントローラの設計の自由度が増し，位置決めの高速高精度化が可能となると考えられる。動作時，粗動部と微動部との接続部で衝突力が生じ，追従性能や装置の劣化を招きうる為，衝突力を緩和させる制御を行う必要がある。本稿では，衝突力モデルを用い，カタパルトステージの衝突力緩和制御を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,762 Kバイト