干渉と周波数変動を考慮した2段アクチュエータ制御系設計

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC14065

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2014/03/10

タイトル(英語): Controller Design For Dual-Stage Actuator Considering Interference and Frequency Variations

著者名: 篠原 悠作(名古屋工業大学),関 健太(名古屋工業大学),岩崎 誠(名古屋工業大学)

著者名(英語): Shinohara Yusaku(Nagoya Institute of Technology),Seki Kenta(Nagoya Institute of Technology),Iwasaki Makoto(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 荷重制御|２段アクチュエータ|ＰＱ法|Ｈ∞制御|干渉|周波数変動|force control|dual-stage actuator|PQ method|H infinity control|interference|frequency variation

要約(日本語): 研磨装置である本荷重制御装置は，目標荷重値への高精度追従性をサーボ帯域拡大により実現するため，空気圧アクチュエータとボイスコイルモータを併用した2段アクチュエータシステムを採用している。しかし，アクチュエータ間の干渉および機構共振モードの周波数変動が制御精度の劣化を招く。そこで，干渉抑制と共振周波数変動に対するロバスト性を考慮した制御系を設計する。

要約(英語): This paper presents a robust controller design approach for dual-stage actuator. In the design, PQ method and H∞ control framework are adopted to suppress the interference and to provide the robustness against frequency variations. The proposed approach has been verified by experiments.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 944 Kバイト