粗微動間連結分離機構を有する精密位置決めステージの整定時間短縮制御法の提案

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC14066

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2014/03/10

タイトル(英語): Proposal of Setting Time Shortening Control for High-precision Stage with Decouplable Structure of Fine and Coarse Part

著者名: 矢崎 雄馬(東京大学),藤本 博志(東京大学),堀 洋一(東京大学),坂田 晃一(ニコン),原 篤史(ニコン),佐伯 和明(ニコン)

著者名(英語): Yazaki Yuma(The University of Tokyo),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo),Hori Yoichi(The University of Tokyo),Sakata Koichi(NIKON CORPORATION),Hara Atsushi(NIKON CORPORATION),Saiki Kazuaki(NIKON CORPORATION)

キーワード: 精密位置決め|高速高精度位置決め|２段アクチュエータ|整定時間|終端状態制御|Precise positioning|Fast and precise positioning|Dual-Stage|Setting Time|Final State Control

要約(日本語): 粗微動間連結分離機構を有する精密位置決めステージのステージモデル，衝突モデルを紹介し，それ独自の制御系を提案した。そして提案した制御系の妥当性をシミュレーションによって示したが，定速領域突入時に位置誤差が生じることが分かった。そこで，定速領域突入時の位置誤差を小さくする方法として，加速時に終端状態制御を用いる手法を提案し，提案した手法の有効性をシミュレーション，実験により示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,513 Kバイト