セルフセンシングアクチュエーションによる振動抑制を考慮した圧電アクチュエータの位置制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC14068

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2014/03/10

タイトル(英語): Position Control of Piezo-Actuators Considering Vibration Suppression by Self-Sensinc Actuation

著者名: 神谷 有城(名古屋工業大学),関 健太(名古屋工業大学),岩崎 誠(名古屋工業大学)

著者名(英語): Kamiya Yuki(Nagoya Institute of Technology),Seki Kenta(Nagoya Institute of Technology),Iwasaki Makoto(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 圧電アクチュエータ|セルフセンシングアクチュエーション|制振制御|ノッチフィルタ|piezo-actuator|self-sensing actuation|vibration suppression|notch filter

要約(日本語): 圧電アクチュエータは，微小位置決め装置に広く利用されているが，機構系に内在する共振振動の影響によって位置制御帯域が制限されることが課題となる。そこで本論文では，圧電素子の圧電／逆圧電効果を同時利用するセルフセンシング技術を応用して，共振振動を抑制するマイナーループを設計し，位置制御系を設計する。設計した制御系の有効性は，圧電アクチュエータで駆動される位置決めステージを用いた実験により検証される。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,182 Kバイト