半導体製造業界における企業間取引の一形態とその制御開発について

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC17003

グループ名: 【D】産業応用部門 産業計測制御研究会

発行日: 2017/02/24

タイトル(英語): A Form of Business-to-Business in Semiconductor Industry and its Control Development

著者名: 三村 和弘(ＫＥＬＫ)

著者名(英語): Kazuhiro Mimura(KELK Ltd.)

キーワード: ＢｔｏＢ|ＰＩＤ制御|チューニング|BtoB|PID control|tuning

要約(日本語): 本稿ではまず半導体製造業界のBtoBtoB企業の一形態である当社の特徴を説明するために制御構造の視点から製品を三つに分類し，各分類で制御系設計の自由度およびパラメータチューニングの難易度が異なることを示す。次に二つの異なる分類に属する当社製品の制御開発例について述べる。

要約(英語): In this paper a form of Business-to-Business (BtoB) in semiconductor industry is introduced by taking KELK Ltd. as an example. The example shows three control system configurations that have different degree of freedom for controller design and degree of difficulty for parameter tuning. Two different control system design examples are shown in particular.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,509 Kバイト