干渉光を用いた薄膜のムラ検出手法

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIS06022

グループ名: 【D】産業応用部門　産業システム情報化研究会

発行日: 2006/03/20

タイトル(英語): A detection method of mura on a thin layer using interference light.

著者名: 谷口 和隆(大日本スクリーン製造),上田 邦夫(大日本スクリーン製造),大西 浩之(大日本スクリーン製造),辰巳 昭治(大阪市立大学)

著者名(英語): Kazutaka Taniguchi(Dainippon Screen Mfg. Co.,Ltd.),Kunio Ueta(Dainippon Screen Mfg. Co.,Ltd.),Hiroyuki Onishi(Dainippon Screen Mfg. Co.,Ltd.),Shoji Tatsumi(Osaka City University)

キーワード: ムラ|検出|狭帯域光|干渉光

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,030 Kバイト