工場データを活用した欠陥分布分類と原因設備推定

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIS07023

グループ名: 【D】産業応用部門　産業システム情報化研究会

発行日: 2007/03/20

タイトル(英語): Classification of Defect Spatial Signatures and Fault Detection Utilizing Fab Data

著者名: 山田 栄二(シャープ),今井 克樹(シャープ),豊島哲朗 (シャープ)

著者名(英語): Eiji Yamada(Sharp Corporation),Katsuki Imai(Sharp Corporation),Tetsuro Toyoshima(Sharp Corporation)

キーワード: 教師なし分類|欠陥分布|異常検出|独立成分分析|独立性の検定|正確確率検定|Unsupervised classification|defect spatial signatures|fault detection|independent component analysis|test of independence|exact test

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 510 Kバイト