テーブル参照による多波長レーザ光干渉像からの3次元形状抽出

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIS07045

グループ名: 【D】産業応用部門　産業システム情報化研究会

発行日: 2007/08/11

タイトル(英語): 3D shape extraction using multi wavelength laser light interference images by table look up method

著者名: 野村 将史(香川大学),林 純一郎(香川大学),高橋 悟(香川大学),石丸 伊知郎(香川大学),秦 清治(香川大学),森本 茂明(隆祥産業),舩津俊一 (シーマイクロ)

著者名(英語): Masashi Nomura(Kagawa University),Jun-Ichiro Hayashi(Kagawa University),Satoru Takahashi(Kagawa University),Ichiro Ishimaru(Kagawa University),Seiji Hata(Kagawa University),Shigeaki Morimoto(Ryusyo Sangyo Company),Syun-ichi Hunathu(Cmicro Company)

キーワード: 微小形状計測|マイケルソン干渉計|正規化相関法|最小自乗法|コードテーブル|Measuring the shape of micro object|Michelson interferometer|Regularized correlation matching method|Least square method|Look-up table

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 502 Kバイト