カラー方向符号照合法に基づく半導体ウェハの欠陥検出

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIS07051

グループ名: 【D】産業応用部門　産業システム情報化研究会

発行日: 2007/08/12

タイトル(英語): Using orientation code that used color information for defect point of the semiconductor

著者名: 本田 匠(北海道大学),金子 俊一(北海道大学),田中 孝之(北海道大学)

著者名(英語): Takumi Honda(hokkaido University),Shuniti kaneko(hokkaido University),takayuki tanaka(hokkaido University)

キーワード: 方向符号|xyY表色系|ロバスト性|照合|Orientation code|xyY color system|Robustness|Maching

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 529 Kバイト