欠陥種を考慮に入れた局所一貫性に基づく欠陥パタン照合法とその応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIS08007

グループ名: 【D】産業応用部門　産業システム情報化研究会

発行日: 2008/02/22

タイトル(英語): A rotational registration method by using local consistency of point dispersion considering defect types

著者名: 浦野 貴裕(北海道大学),金子 俊一(北海道大学),高氏 秀則(北海道大学),田中 孝之(北海道大学),前田 俊二(日立製作所),渋谷 久恵(日立製作所),吉田 実(日立製作所)

著者名(英語): Takahiro URANO(Hokkaido University),Shun'ichi KANEKO(Hokkaido University),Hidenori TAKAUJI(Hokkaido University),Takayuki TANAKA(Hokkaido University),Shunji MAEDA(Hitachi,Ltd.),Hisae SHIBUYA(Hitachi,Ltd.),Minoru YOSHIDA(Hitachi,Ltd.)

キーワード: color LCPD|照合|欠陥種別|欠陥点群|ロバスト性|color LCPD|Registration|type|Defect Sets|Robustness

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 788 Kバイト